Room-Temperature Preparation of Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Thick Film by Aerosol Deposition Method for Integrated RF Modules

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Room-Temperature Preparation of Al₂O₃ Thick Film by Aerosol Deposition Method for Integrated RF Modules

著者

和文:	T. Tsurumi, S. M. Nam, N. Mori, H. Kakemoto, S. Wada, J. Akedo.
英文:	T. Tsurumi, S. M. Nam, N. Mori, H. Kakemoto, S. Wada, J. Akedo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Kor. Ceram. Soc.

巻, 号, ページ

Vol. 40 pp. 715-719

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: