Preparation of Alumina Thick Films by Aerosol Deposition Method for Integrated RF Modules

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of Alumina Thick Films by Aerosol Deposition Method for Integrated RF Modules

著者

和文:	S. M. Nam, N. Mori, H. Kakemoto, S. Wada, J. Akedo, T. Tsurumi.
英文:	S. M. Nam, N. Mori, H. Kakemoto, S. Wada, J. Akedo, T. Tsurumi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Trans. Mat. Res. Soc. Jpn., to be published.

巻, 号, ページ

Vol. 29

出版年月

2004年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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