Deposition of High-crystallinity poly-Si Films -Si Films on Glass Substrate and Fabrication of high Mobility Bottom-gate TFT over 50 cm2/Vs,

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition of High-crystallinity poly-Si Films -Si Films on Glass Substrate and Fabrication of high Mobility Bottom-gate TFT over 50 cm2/Vs,

著者

和文:	Jeong-Woo Lee, Koousaku Shimizu, Jun-ichi Hanna.
英文:	Jeong-Woo Lee, Koousaku Shimizu, Jun-ichi Hanna.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Int. Conf. Amorphous and Microcrystalline Semiconductors, Campos do Jordão, Brazil

巻, 号, ページ

出版年月

2003年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: