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論文・著書情報


タイトル
和文:CuTi合金スパッタ薄膜の機械的特性及び電気抵抗率に及ぼす時効の効果 
英文: 
著者
和文: 桜井淳平, 秦誠一, 下河辺明.  
英文: Junpei Sakurai, 秦誠一, 下河辺明.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本金属学会講演概要 2003秋期大会 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 541
出版年月 2003年9月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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