Population of Excited Species in Oxygen Discharge

論文・著書情報

タイトル

和文:	酸素プラズマ中の励起種の生成消滅に関する研究
英文:	Population of Excited Species in Oxygen Discharge

著者

和文:	T. Sakamoto, H. Matsuura, M. Matsuzaki, 赤塚洋.
英文:	T. Sakamoto, H. Matsuura, M. Matsuzaki, H. Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第２１回プラズマプロセシング研究会(SPP-21)プロシーディングス
英文:	Proc. 21st Symp. Plasma Proc. (SPP-21)

巻, 号, ページ

pp. 204

出版年月

2004年

出版者

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会議名称

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開催地

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