Diagnostics of Surface Wave Nitrogen Discharge Generated by a Slot Antenna

論文・著書情報

タイトル

和文:	スロットアンテナ励起表面波窒素プラズマの診断
英文:	Diagnostics of Surface Wave Nitrogen Discharge Generated by a Slot Antenna

著者

和文:	R. Toyoyoshi, T. Sakamoto, H. Matsuura, H. Akatsuka.
英文:	R. Toyoyoshi, T. Sakamoto, H. Matsuura, H. Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第２０回プラズマプロセシング研究会(SPP-20)プロシーディングス
英文:	Proc. 20th Symp. Plasma Proc. (SPP-20)

巻, 号, ページ

pp. 243

出版年月

2003年

出版者

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会議名称

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開催地

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