超音波を用いる粘性流体塗布法の基礎的検討

論文・著書情報

タイトル

和文:	超音波を用いる粘性流体塗布法の基礎的検討
英文:	A Study on Applying Viscous Fluids Using Ultrasonic Waves

著者

和文:	安保圭介, 脇坂伸也, James R. Friend, 中村健太郎, 上羽貞行, 田中志信（東京エレクトロン）.
英文:	安保圭介, 脇坂伸也, James R. Friend, KENTARO NAKAMURA, SADAYUKI UEHA, 田中志信（東京エレクトロン）.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:	第24回超音波シンポジウム予稿集

巻, 号, ページ

Vol. 24 G-3 pp. 373-374

出版年月

2003年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第24回超音波シンポジウム
英文:

開催地

和文:	東京
英文: