Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文:フッ化物前駆体からの高品質多結晶シリコン薄膜の作製 
英文:Fabrication of high quality poly-si from fluorinaled precursors 
著者
和文: 清水勇.  
英文: ISAMU SHIMIZU.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:MRS. Symp. Proc. 
巻, 号, ページ     No. 297    pp. 79-89
出版年月 1993年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.