In-process microsensor for ultraprecision machining

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In-process microsensor for ultraprecision machining

著者

和文:	H. Yoshioka, H. Hashizume, H. Shinno.
英文:	H. Yoshioka, H. Hashizume, H. Shinno.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEE Proceedings-Science, Measurement and Technology

巻, 号, ページ

Vol. 151 No. 2 pp. 121-125

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: