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論文・著書情報


タイトル
和文:SIサイリスタを用いたナノパルス電源による大気圧下でのダイヤモンド状炭素膜合成 
英文: 
著者
和文: 近藤好正, 齊藤隆雄, 細野慎太朗, 今西雄一郎, 中村幸則, 大竹尚登.  
英文: 近藤好正, 齊藤隆雄, 細野慎太朗, 今西雄一郎, 中村幸則, 大竹尚登.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第17回SIデバイスシンポジウム講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 9-14
出版年月 2004年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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