Dependence of Nitriding Degree of Ti Surface by Non-LTE Nitrogen Plasma on Various Plasma Parameters

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Dependence of Nitriding Degree of Ti Surface by Non-LTE Nitrogen Plasma on Various Plasma Parameters

著者

和文:	H. Kobori, S. Koike, S. Watanabe, M. Matsuzaki, H. Matsuura, H. Akatsuka.
英文:	H. Kobori, S. Koike, S. Watanabe, M. Matsuzaki, H. Matsuura, H. Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 457 pp. 69

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: