マイクロ波励起酸素プラズマに対する希ガスの混入効果

論文・著書情報

タイトル

和文:	マイクロ波励起酸素プラズマに対する希ガスの混入効果
英文:	Effect of Admixture of Rare Gases on Microwave-Excited Oxygen Plasma

著者

和文:	坂本武士, 直井浩一, 北村直久, 松浦治明, 赤塚洋.
英文:	坂本武士, 直井浩一, 北村直久, 松浦治明, 赤塚洋.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第６５回応用物理学会学術講演会講演予稿集
英文:	Extended Abstracts (The 65th Autumn Meeting, 2004); The Japan Society of Applied Physics

巻, 号, ページ

pp. 109

出版年月

2004年

出版者

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会議名称

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開催地

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