Development of an air servo displacement sensor

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of an air servo displacement sensor

著者

和文:	Zhan Yalin, Kenji Kawashima, Toshinori Fujita, Toshiharu Kagawa.
英文:	Zhan Yalin, Kenji Kawashima, Toshinori Fujita, Toshiharu Kagawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 28 pp. 435-442

出版年月

2004年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文:

DOI