Synthesis of Diamondlike Carbon Films by Nanopulse Plasma Chemical Vapor Deposition at Subatmospheric Pressure

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Synthesis of Diamondlike Carbon Films by Nanopulse Plasma Chemical Vapor Deposition at Subatmospheric Pressure

著者

和文:	Naoto Ohtake, Takao Saito, Yoshimasa Kondo, Shintaro Hosono, Yukinori Nakamura, Yu-ichiro Imanishi.
英文:	Naoto Ohtake, Takao Saito, Yoshimasa Kondo, Shintaro Hosono, Yukinori Nakamura, Yu-ichiro Imanishi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 43 No. 11A pp. L1406 - L1408

出版年月

2004年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI