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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Disilane Doping of InP in GSMBE using TMI and Phosphine 
著者
和文: A. SANDHU, H.Ando, N. Okamoto, T. Fujii.  
英文: A. SANDHU, H.Ando, N. Okamoto, T. Fujii.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Jpn. Jnl. Appl. Phys 
巻, 号, ページ Vol. 30        pp. L1696-L1699
出版年月 1991年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 

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