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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Miniaturized SAW motor with 100Mhz driving frequency 
著者
和文: 重松 隆史, 黒澤 実.  
英文: T. Shigematsu, M. K. Kurosawa.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proc. of 17th IEEE Int. Micro Electro Mechanical Systems Conf., MEMS 2004 
巻, 号, ページ         pp. 482-485
出版年月 2004年1月 
出版者
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会議名称
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開催地
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