微細加工による円筒型バルク圧電体を用いたマイクロ超音波モータ（第2報モータの小型化と特性評価） | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	微細加工による円筒型バルク圧電体を用いたマイクロ超音波モータ（第2報モータの小型化と特性評価）
英文:

著者

和文:	牧野明, 神田岳文, 鈴森康一, 森田剛, 黒澤実.
英文:	牧野明, 神田岳文, 鈴森康一, 森田剛, Minoru Kuribayashi Kurosawa.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	ロボティクス・メカトロニクス講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2004年6月

出版者

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会議名称

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開催地

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