ナノ加工用XY位置決めテーブルシステム

論文・著書情報

タイトル

和文:	ナノ加工用XY位置決めテーブルシステム
英文:	XY Planar Positioning Table System for Nano-Processing

著者

和文:	吉岡勇人, 小野幸村, 新野秀憲.
英文:	H.Yoshioka, Y.Ono, H.Shinno.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第１２回国際工作機械技術者会議「工作機械関連のニューテクノロジ」ポスター展
英文:	New Technologies of Machine Tool and Manufacturing

巻, 号, ページ

pp. 54-55

出版年月

2006年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第１２回国際工作機械技術者会議
英文:	The 12th International Machine Tool Engineers Conference

開催地

和文:	東京ビックサイト
英文:	Tokyo Big Sight