Yield Estimation Considering Via Defects

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Yield Estimation Considering Via Defects

著者

和文:	Takumi Uezono, Kenichi Okada, Kazuya Masu.
英文:	Takumi Uezono, Kenichi Okada, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 201-206

出版年月

2006年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The Workshop on Synthesis And System Integration of Mixed Information Technologies

開催地

和文:
英文:	名古屋