Preparation of hafnium oxide films from oxygen-free Hf[N(C2H5)2]4 precursor and their properties

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Preparation of hafnium oxide films from oxygen-free Hf[N(C2H5)2]4 precursor and their properties

著者

和文:	高橋健二, 中山誠, 横山信太郎, Takeshi Kimura, 徳光永輔.
英文:	Kenji Takahashi, Makoto Nakayama, Shintaro Yokoyama, Takeshi Kimura, Eisuke Tokumitsu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Applied Surface Science

巻, 号, ページ

No. 216 pp. 296-301

出版年月

2003年1月

出版者

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会議名称

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開催地

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