ナノ加工用超精密スピンドルシステムの開発

論文・著書情報

タイトル

和文:	ナノ加工用超精密スピンドルシステムの開発
英文:	Air Turbine Driven Aerostatic Spindle System for Nano-Machining

著者

和文:	吉岡勇人, 平林武洋, 新野秀憲.
英文:	Yoshioka, H., Hirabayashi, T., Shinno, H..

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第１２回国際工作機械技術者会議「工作機械関連のニューテクノロジー」ポスター展
英文:	New Technologies of Machine Tool and Manufacturing

巻, 号, ページ

pp. 52-53

出版年月

2006年11月

出版者

和文:	日本工作機械工業会
英文:	Japan Machine Tool Builders' Association

会議名称

和文:	第１２回国際工作機械技術者会議
英文:	The 12th International Machine Tool Engineers Conference

開催地

和文:	東京ビックサイト
英文: