A Newly Develped Linear Motor-Driven Aerostatic X-Y Planar Motion Table System for Nano-Machining

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Newly Develped Linear Motor-Driven Aerostatic X-Y Planar Motion Table System for Nano-Machining

著者

和文:	新野秀憲, 吉岡勇人.
英文:	Hidenori SHINNO, Hayato YOSHIOKA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Annals of the CIRP(Annals of the International Academy for Production Engineering)

巻, 号, ページ

Vol. 56 No. 1 pp. 369-372

出版年月

2007年8月

出版者

和文:
英文:	Elsevier Ltd.

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI