MEMS技術を用いたフレキシブルERマイクロアクチュエータ

論文・著書情報

タイトル

和文:	MEMS技術を用いたフレキシブルERマイクロアクチュエータ
英文:

著者

和文:	金俊完, 吉田和弘, 國府田くみ子, 横田眞一.
英文:	Joon-wan KIM, KAZUHIRO YOSHIDA, 國府田くみ子, SHINICHI YOKOTA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'07（ROBOMEC2007）講演論文集（CD-ROM）
英文:

巻, 号, ページ

pp. 1A2-A03

出版年月

2007年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	日本機械学会ロボティクス・メカトロニクス講演会'07（ROBOMEC2007）
英文:

開催地

和文:	秋田
英文: