水熱合成法によるマイクロ繊毛アクチュエータの圧電薄膜の形成

論文・著書情報

タイトル

和文:	水熱合成法によるマイクロ繊毛アクチュエータの圧電薄膜の形成
英文:	Fabrication of Piezoelectric Thin Film on a Micro Cilium Actuator by Hydrothermal Method

著者

和文:	森田堅次郎, 岩附信行, 森川広一.
英文:	Kenjiro Morita, Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第12回日本IFToMM会議シンポジウム前刷集
英文:	Proc. of the 12th Symposium on Theory of Machines and Mechanisms

巻, 号, ページ

pp. 71-74

出版年月

2006年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第12回日本IFToMM会議シンポジウム
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開催地

和文:	東京
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