Effect of crystal orientation on residual stress and electrical properties of a PZT thin film deposited on buffered-Si substrate

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of crystal orientation on residual stress and electrical properties of a PZT thin film deposited on buffered-Si substrate

著者

和文:	Keisuke Fujito, Naoki Wakiya, Takanori Kiguchi, Nobuyasu Mizutani, Kazuo Shinozaki.
英文:	Keisuke Fujito, Naoki Wakiya, Takanori Kiguchi, Nobuyasu Mizutani, Kazuo Shinozaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Key Engineerig Materials

巻, 号, ページ

Vol. 320 pp. 65-68

出版年月

2006年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI