Application of microplasma to synthesis of silicon nanoparticles

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Application of microplasma to synthesis of silicon nanoparticles

著者

和文:	Kenji Sasaki, Tomohisa Ogino, Daisuke Asahi, Tomohiro Nozaki, Ken Okazaki.
英文:	Kenji Sasaki, Tomohisa Ogino, Daisuke Asahi, Tomohiro Nozaki, Ken Okazaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Bulletin of 59th Annual Gaseous Electronics Conference

巻, 号, ページ

pp. 47

出版年月

2006年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	59th Annual Gaseous Electronics Conference

開催地

和文:
英文: