Growth of Strain-relaxed Si<sub>1-y</sub>C<sub>y</sub> Films with Step Carbon Composition By Gas Source MBE

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Growth of Strain-relaxed Si_1-yC_y Films with Step Carbon Composition By Gas Source MBE

著者

和文:	Hane Ishihara, Masahiko Murano, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Hane Ishihara, Masahiko Murano, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. *

出版年月

2006年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	3rd International SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM 2006)

開催地

和文:
英文:	Princeton, USA