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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Effect of thermal annealing on the properties of a-SiCN:H films by hot wire chemical vapor deposition using hexamethyldisilazane 
著者
和文: A. Limmanee, M. Otsubo, T. Sugiura, T. Sato, S. Miyajima, A. Yamada, M. Konagai.  
英文: A. Limmanee, M. Otsubo, T. Sugiura, T. Sato, S. Miyajima, A. Yamada, M. Konagai.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. *
出版年月 2006年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:4th International Confrence on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process 
開催地
和文: 
英文:Gifu, Japan 

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