Sc<sub>2</sub>O<sub>3</sub>ゲート絶縁膜を用いたMISFETの作製と特性評価 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	Sc₂O₃ゲート絶縁膜を用いたMISFETの作製と特性評価
英文:

著者

和文:	川那子高暢, 椎野泰洋, ヘンドリアンシャーサウッディン, 角嶋邦之, アヘメトパールハット, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井　洋.
英文:	川那子高暢, 椎野泰洋, ヘンドリアンシャーサウッディン, 角嶋邦之, アヘメトパールハット, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井　洋.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第67回応用物理学会学術講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 2 pp. 718

出版年月

2006年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第67回応用物理学会学術講演会
英文:

開催地

和文:	京都
英文:

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