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論文・著書情報


タイトル
和文:HfNのECRプラズマ酸化によるHfON薄膜の形成 
英文: 
著者
和文: 大見俊一郎, 黒瀬朋紀, 佐藤雅樹.  
英文: 大見俊一郎, 黒瀬朋紀, 佐藤雅樹.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:電子情報通信学会技術研究報告 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 106    No. 108    pp. 93-97
出版年月 2006年6月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:電子情報通信学会SDM研究会 
英文: 
開催地
和文:広島大学 
英文: 

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