Evaluation of EEDF in Microwave Discharge Plasma by Spectroscopic Characteristics

論文・著書情報

タイトル

和文:	分光特性を用いたマイクロ波放電プラズマの電子エネルギー分布関数の評価
英文:	Evaluation of EEDF in Microwave Discharge Plasma by Spectroscopic Characteristics

著者

和文:	水落純, 松浦治明, 赤塚洋.
英文:	J. Mizuochi, H. Matsuura, H. Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第２４回「プラズマプロセシング研究会」(SPP-24)プロシーディングス
英文:	Proc. the 24th Sump. on Plasma Processing (SPP-24)

巻, 号, ページ

pp. 291-292

出版年月

2007年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	第２４回「プラズマプロセシング研究会」(SPP-24)

開催地

和文:
英文:	大阪