Estimation of Electron Temperature of Non-Equilibrium Arggon Plasma of Atmospheric Pressure by OES Measurement

論文・著書情報

タイトル

和文:	大気圧非平衡アルゴンプラズマの発光分光計測による電子温度推定
英文:	Estimation of Electron Temperature of Non-Equilibrium Arggon Plasma of Atmospheric Pressure by OES Measurement

著者

和文:	赤塚洋, 湯地敏史, 藤岡万也, 浦山卓也, ラマサミーラズ, 藤井修逸.
英文:	H. Akatsuka, T. Yuji, K. Fujioka, T. Urayama, R. Raju, S. Fujii.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第２４回「プラズマプロセシング研究会」(SPP-24)プロシーディングス
英文:	Proc. the 24th Sump. on Plasma Processing (SPP-24)

巻, 号, ページ

pp. 387-388

出版年月

2007年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	第２４回「プラズマプロセシング研究会」(SPP-24)

開催地

和文:
英文:	大阪