Ultra-Shallow Junction Formation By Plasma Doping And Flash Lamp Annealing

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Ultra-Shallow Junction Formation By Plasma Doping And Flash Lamp Annealing

著者

和文:	K. Tsutsui, Y. Sasaki, C-G. Jin, H. Sauddin, K. Majima. Y. Fukagawa, I. Aiba, H. Ito, B. Mizuno, K. Kakushima, P. Ahmet, H. Iwai.
英文:	K. Tsutsui, Y. Sasaki, C-G. Jin, H. Sauddin, K. Majima. Y. Fukagawa, I. Aiba, H. Ito, B. Mizuno, K. Kakushima, P. Ahmet, H. Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	RTP-2006

巻, 号, ページ

Vol. 1 No. 1

出版年月

2006年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	RTP-2006

開催地

和文:
英文:	Kyoto, Japan

DOI