New method of Plasma doping with in-situ Helium pre-amorphization
著者
和文:
Y. Sasaki,
C.G.Jin,
K. Okashita,
H. Tamura,
H. Ito,
B. Mizuno,
H. Sauddin,
R. Higaki,
T. Satoh,
K. Majima,
Y. Fukagawa,
K. Takagi,
I. Aiba,
K. Tsutsui,
H. Iwai.
英文:
Y. Sasaki,
C.G.Jin,
K. Okashita,
H. Tamura,
H. Ito,
B. Mizuno,
H. Sauddin,
R. Higaki,
T. Satoh,
K. Majima,
Y. Fukagawa,
K. Takagi,
I. Aiba,
K. Tsutsui,
H. Iwai.
言語
English
掲載誌/書名
和文:
英文:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Reseach B237
各種検索
サポート
ヘルプ