Photosensitive Poly(benzoxazole) Based on Poly(o-hydroxy amide), Dissolution Inhibitor, Thermoacid Generator, and Photoacid Generator

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Photosensitive Poly(benzoxazole) Based on Poly(o-hydroxy amide), Dissolution Inhibitor, Thermoacid Generator, and Photoacid Generator

著者

和文:	T. Ogura, K. Yamaguchi, Y. Shibasaki, M. Ueda.
英文:	T. Ogura, K. Yamaguchi, Y. Shibasaki, M. Ueda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Polym. J.,

巻, 号, ページ

Vol. 39 pp. 245-251

出版年月

2007年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI