分光特性を用いたマイクロ波放電プラズマの電子エネルギー分布関数の評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	分光特性を用いたマイクロ波放電プラズマの電子エネルギー分布関数の評価
英文:	Evaluation of EEDF of Microwave Discharge Plasmas by Sectroscopic Characteristics

著者

和文:	水落純, 松浦治明, 赤塚洋.
英文:	J. Mizuochi, H. Matsuura, H. Akatsuka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第５４回応用物理学関係連合講演会　講演予稿集
英文:	Extended Abstracts (The 54th Spring Meeting, 2007); The Japan Society of Applied Physics and Related Societies

巻, 号, ページ

pp. 175

出版年月

2007年3月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第５４回応用物理学関係連合講演会
英文:

開催地

和文:	青山学院大
英文: