大気圧非平衡マイクロ波放電プラズマジェットの発光分光計測と表面改質プロセスの相関

論文・著書情報

タイトル

和文:	大気圧非平衡マイクロ波放電プラズマジェットの発光分光計測と表面改質プロセスの相関
英文:	Optical Emission Spectroscopy and Correlation on Surface Treatment for Processing by Atmospheric Pressure Non-Equilibrium Microwave Discharge Plasma Jets

著者

和文:	湯地敏史, 藤岡万也, 藤井修逸, 福山紅陽, 赤塚洋.
英文:	T. Yuji, K. Fujioka, S. Fujii, K. Fukuyama, H. Akatsuka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	プラズマ応用科学
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巻, 号, ページ

Vol. 14 pp. 139-142

出版年月

2006年12月

出版者

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会議名称

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開催地

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