水熱合成PZT薄膜を用いた屈曲型アクチュエータ | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	水熱合成PZT薄膜を用いた屈曲型アクチュエータ
英文:

著者

和文:	鶴見敬章, 下村克彦, 菊池尊行, 大場陽子, 大門正機.
英文:	鶴見敬章, 下村克彦, 菊池尊行, 大場陽子, 大門正機.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気通信学会技報
英文:

巻, 号, ページ

Vol. US2-18 CMP92-31 pp. 35-41

出版年月

1992年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.