Effect of Bias Enhanced Nucleation on the Nucleation Density of Diamond in Microwave Plasma CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Bias Enhanced Nucleation on the Nucleation Density of Diamond in Microwave Plasma CVD

著者

和文:	Y. Ma, T. Tsurumi, N. Shinoda, O. Fukunaga.
英文:	Y. Ma, T. Tsurumi, N. Shinoda, O. Fukunaga.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Diamond & Related Materials,

巻, 号, ページ

Vol. 4 pp. 1325-1330

出版年月

1996年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI