Bias Effects on Epitaxial PZT Films in Reactive Sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Bias Effects on Epitaxial PZT Films in Reactive Sputtering

著者

和文:	S. M. Nam, H. Kimura, N. Ohashi, T. Tsurumi.
英文:	S. M. Nam, H. Kimura, N. Ohashi, T. Tsurumi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Trans. Mater. Res. Soc. Jpn.

巻, 号, ページ

Vol. 24 No. 1 pp. 35-38

出版年月

1999年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: