Vacuum Arc Deposition of Homogeneous Amorphous Carbon Films at High Growth Rates

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Vacuum Arc Deposition of Homogeneous Amorphous Carbon Films at High Growth Rates

著者

和文:	Mutsumi Horikoshi, 平田敦.
英文:	Mutsumi Horikoshi, Atsushi Hirata.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	New Diamond and Frontier Carbon Technology

巻, 号, ページ

Vol. 16 No. 5 pp. 267-277

出版年月

2006年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: