圧電マイクロ繊毛アクチュエータの内部電極の接合

論文・著書情報

タイトル

和文:	圧電マイクロ繊毛アクチュエータの内部電極の接合
英文:	Jointing of Internal Electrodes of Piezoelectric Micro Cilium Actuator

著者

和文:	岩附信行, 森川広一, 田辺龍太, 西田吉人.
英文:	Nobuyuki Iwatsuki, Koichi Morikawa, Ryota Tanabe, Yoshito Nishida.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第１９回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
英文:	19th Symposium on Electromagnetics and Dynamics

巻, 号, ページ

pp. 307-308

出版年月

2007年5月

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第１９回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
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開催地

和文:	東京
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