Comparison of ECR plasma characteristics discharged by 7.0, 8.0 and 9.4 GHz

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Comparison of ECR plasma characteristics discharged by 7.0, 8.0 and 9.4 GHz

著者

和文:	Yoko Kawai Tei Saburi Sang-Ho. Kim, Yasuhiko Fujii, Tatsuya Suzuki.
英文:	Yoko Kawai Tei Saburi Sang-Ho. Kim, Yasuhiko Fujii, Tatsuya Suzuki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Review Sci. Instrum

巻, 号, ページ

Vol. 71 pp. 866-868

出版年月

2000年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: