Stress Control and Ferroelectric Properties of Lead Zirconate Titanate (PZT) Thin Film on Si Substrate with Buffer Layers

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Stress Control and Ferroelectric Properties of Lead Zirconate Titanate (PZT) Thin Film on Si Substrate with Buffer Layers

著者

和文:	Keisuke Fujito, Naoki Wakiya, Nobuyasu Mizutani, Kazuo Shinozaki.
英文:	Keisuke Fujito, Naoki Wakiya, Nobuyasu Mizutani, Kazuo Shinozaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 44 No. 9B pp. 6900-6904

出版年月

2005年

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI