Experimental Study of Effect of Rare Gas Admixture on Temperatures of Microwave-Excited Oxygen Discharge Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Experimental Study of Effect of Rare Gas Admixture on Temperatures of Microwave-Excited Oxygen Discharge Plasma

著者

和文:	T. Sakamoto, K. Naoi, H. Matsuura, H. Akatsuka.
英文:	T. Sakamoto, K. Naoi, H. Matsuura, H. Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 45 No. 1A pp. 243-246

出版年月

2006年1月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI