Properties of Nanocrystalline 3C-SiC:H and SiC:Ge:H Films Deposited at Low Substrate Temperatures (invited)

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Properties of Nanocrystalline 3C-SiC:H and SiC:Ge:H Films Deposited at Low Substrate Temperatures (invited)

著者

和文:	宮島晋介, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 910

巻, 号, ページ

Vol. 910 pp. 0910-A04-01

出版年月

2006年4月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2006 MRS spring meeting, April 17 – 21 2006, (Invited, Symposium A, SESSION A4: Growth Techniques and Interface Studies, A4.1)

開催地

和文:
英文:	Moscone West, San Francisco Marriott, San Francisco, CA, USA