Stability Improvement of Surface Acoustic Wave Motor Using Chemically Reduced Lithium Niobate

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Stability Improvement of Surface Acoustic Wave Motor Using Chemically Reduced Lithium Niobate

著者

和文:	重松隆史, 黒澤実.
英文:	T. Shigematsu, M. K. Kurosawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Digest of Technical Papers of the 14th int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers and Eurosensors '07

巻, 号, ページ

pp. 1163-1166

出版年月

2007年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	the 14th int. Conf. on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers and Eurosensors '07

開催地

和文:
英文:	Lyon, France

DOI