Sc2O3ゲート絶縁膜のリーク電流機構の解析

論文・著書情報

タイトル

和文:	Sc2O3ゲート絶縁膜のリーク電流機構の解析
英文:

著者

和文:	幸田みゆき, 川那子高暢, 角嶋邦之, パールハット・アヘメト, 筒井一生, 杉井信之, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	幸田みゆき, Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, パールハット・アヘメト, KAZUO TSUTSUI, 杉井信之, takeo hattori, HIROSHI IWAI.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	秋季第68回応用物理学会学術講演会講演予稿集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 820

出版年月

2007年9月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	秋季第68回応用物理学会学術講演会
英文:

開催地

和文:	北海道工業大学
英文: