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論文・著書情報
タイトル
和文:
HfO2/SiO2 界面へのSc2O3 添加によるフラットバンド電圧シフト
英文:
著者
和文:
上村 英之,
足立 学
,
角嶋 邦之
, パールハット アヘメト,
筒井 一生
, 杉井 信之,
服部 健雄
,
岩井 洋
.
英文:
上村 英之,
Manabu Adachi
,
Kuniyuki KAKUSHIMA
, パールハット アヘメト,
KAZUO TSUTSUI
, 杉井 信之,
takeo hattori
,
HIROSHI IWAI
.
言語
Japanese
掲載誌/書名
和文:
秋季第68回応用物理学会学術講演会予稿集
英文:
巻, 号, ページ
pp. 820
出版年月
2007年9月
出版者
和文:
英文:
会議名称
和文:
秋季第68回応用物理学会学術講演会
英文:
開催地
和文:
英文:
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