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論文・著書情報


タイトル
和文:金属／絶縁体／強誘電体／絶縁体／半導体構造（M-I-FIS構造）キャパシタの作製と評価 
英文: 
著者
和文: 高野 友一, 斎木博和, 柴田宏, 徳光永輔.  
英文: Yuuichi Takano, Hirokazu Saiki, Hiroshi Shibata, EISUKE TOKUMITSU.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 29a-SV-4   
出版年月 2007年3月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第54回応用物理学関係連合講演会 
英文: 
開催地
和文:青山学院大学相模原キャンパス 
英文: 

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